石墨舟便是石墨模具。石墨模具自身是一种质粒载体,能够把人们必须精准定位或定形的原料和零部件一起放于石墨模具中高溫煅烧成形。時间久了,石墨舟也必须清理和维护保养,那麼怎样维护保养和清理呢?
1.清理前确定
1.1石墨舟在应用全过程中贴近100次时必须实际操作工作人员立即查验表层的镀膜状况,出現表层的镀膜出现异常,必须开展清理确定。
1.2硅单晶在石墨舟内一切正常表层的镀膜色调为深蓝色,片内出現非深蓝色、多种多样色调或片与片间色调差别很大,都为表层的镀膜出现异常,必须加工工艺确定出现异常缘故。
1.3由加工工艺工作人员对舟的表层的镀膜状况开展剖析后,明确石墨舟是不是必须清理及其守点是不是必须拆换,生产制造将需清理的舟交给机器设备工作人员清理。
1.4石墨舟明确必须清理后,由机器设备、生产制造、加工工艺三方对石墨舟开展查验,2.1.5石墨舟毁坏后,由生产制造工作人员取下舟内所有的硅单晶,并应用CDA(空气压缩)对石墨舟内残片开展清除,结束后机器设备工作人员将其抬入早已选好一定占比HF水溶液的酸槽中开展清理。
2石墨舟的清理
2.1开启酸槽放水阀,待废酸排空,自来水枪对酸槽开展清洗。
2.2合上闸阀,将石墨舟放入酸槽中,开启水阀门,往酸槽里放进纯净水直至水可以吞没石墨舟才行,关掉进水阀。随后在酸槽添加HF酸(4瓶),把清洗设备的窗子关好,随后刚开始清理(要在酸中侵泡六个钟头上下)。清理全过程中戴好防强酸强碱胶手套,将石墨舟从酸槽中取下查询是不是清理整洁,假如到時间还未洗干净,再再次清理,直至整洁才行。
2.3清理整洁以后,放进不锈钢水槽,自来水枪清洗后合上放水阀,加水,以水未过舟为标准,浸洗一般需两个钟头。
2.4清理结束后,将石墨舟从不锈钢水槽中取下,用清洁器刮走表层显著的水滴。
2.5将石墨舟抬入专用型烘干箱,合上烘干箱防盗锁紧;开启电源总开关—离心风机电源开关—提温电源开关—警报电源开关;温控仪表设置溫度80度。石墨舟在烘干箱风干6—8钟头(历经检测石墨舟在烘干箱风干后与应用前的石墨舟没差别即可取下)。
2.6设置溫度20度,一般减温半小时烘干箱里的石墨舟做到常温下,能够取下。
2.7将石墨舟上的所有螺帽拧紧并查验石墨舟所有的陶瓷件,必须拆换加工工艺点的石墨舟,取下后必须入检修间专用型仓储货架等候检修。
3石墨舟毁坏解决计划方案
3.1石墨舟舟片毁坏
A.石墨舟在经常不断应用清理以后,难以避免出現脆化开裂,在按规范工作时发觉舟片开裂,应停用,由工艺技术明确后,入机器设备房检修拆换,至检修好后能够再次应用。
B.石墨舟在应用中出現实际操作工作人员操作失误或机械手臂破裂等缘故导致的舟片毁坏,需按要求填好《事故报告》,由工艺技术明确后,入机器设备房检修拆换,检修好后能够再次应用。
3.2石墨舟陶瓷件毁坏
A.石墨舟陶瓷件历经不断清理、高溫加工工艺,时间长后会出現破裂、裂开。在生产制造应用中出現破裂,值班机器设备必须立即拆换,进而不危害生产制造。
B.在清理后陶瓷件出現破裂,等候清理结束风干,取下后对陶瓷件开展拆换。
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